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    Title: 彩色光阻熱脫附行為
    Authors: 張慎周
    林天財
    楊仁鈞
    邱進富
    曾應欽
    Keywords: 熱脫附
    真空系統
    彩色光阻
    Date: 2006
    Issue Date: 2009-08-15 19:46:33 (UTC+8)
    Abstract: 將真空系統、加熱基板、殘氣分析儀設計組裝熱脫附機台進行彩色光阻熱脫附實驗。彩色濾光片熱脫附實驗中,採用彩色濾光片為未鍍上透明導電膜的濾光片,量測荷質比1-100 分別有幾個明顯脫附訊號70 °C、185 °C、458 °C。70 °C 脫附訊號分佈的荷質比範圍1-100 都可發現其蹤跡,脫附訊號最強的前三個荷質比依序為18、44、28,依質量推測為荷質比18 為水氣、荷質比44、28 為碳氫化合物,199 °C 脫附訊號分佈於荷質比範圍25–85 可找到較明顯脫附訊號,位於脫附訊號最強的前三個荷質比順序為41、43、73,於458 °C 脫附訊號的荷質比分布範圍1-100,脫附訊號最強的前三個荷質比排列為18、44、17。透明導電膜在300 °C 以上做退火可增加其導電性,但彩色光阻會因熱能產生脫附行為,使其脫附粒子擴散至透明導電膜層,造成導電率及透光率的下降。
    Relation: 真空科技, 十九卷, 第二期, 2006年
    Appears in Collections:[電機工程系所] 期刊論文

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