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    Title: 五項真空學理實驗系統之建立與測試
    Authors: 張慎周
    王煥騰
    潘奕甫
    陳膺中
    陳奕光
    黃廷暐
    Date: 2006
    Issue Date: 2009-08-15 19:30:20 (UTC+8)
    Abstract: 設計一套真空系統做A. 抽氣時間對腔體壓力、B. 利用壓力回昇法、氦氣測漏儀計算腔體漏氣率、C. 固定氣流通量,氣導對腔體壓力D. 改變氣流通量對腔體壓力、E. 渦輪分子幫浦轉速對腔體壓力等五項真空實驗,比較實驗數據結果與真空理論的關係。在A 實驗中可明顯觀察出水氣含量對壓力造成的影響。在B 實驗中採用壓力回昇法與氦氣測漏儀比較兩者量測值結果比較。在C.實驗中,通入定量的氮氣,改變閥門圈數以氣導為變數,觀察出管路兩端的壓力差變化。在D 實驗中,改變通入氣體量,觀察出氣導與壓力的變化。在E 實驗中,固定氣流通量下,藉由變更渦輪分子幫浦轉速改變幫浦抽氣速率,觀察其壓力的變化。由本真空系統與設計之實驗觀察出實際量測值與理論值之關係。
    Relation: 真空科技, 十九卷, 第一期, 2006年, p. 71-76
    Appears in Collections:[電機工程系所] 期刊論文

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