English  |  正體中文  |  简体中文  |  Items with full text/Total items : 25458/26052 (98%)
Visitors : 6676826      Online Users : 146
RC Version 7.0 © Powered By DSPACE, MIT. Enhanced by NTU Library IR team.
Scope Tips:
  • please add "double quotation mark" for query phrases to get precise results
  • please goto advance search for comprehansive author search
  • Adv. Search
    HomeLoginUploadHelpAboutAdminister Goto mobile version


    Please use this identifier to cite or link to this item: https://ir.lib.ksu.edu.tw/handle/987654321/3755


    Title: 透明導電膜氧化鋅摻雜氟化鎂的熱脫附行為
    Authors: 張慎周
    黃廷暐
    謝文翔
    楊振傑
    鄭雯軒
    劉俊賢
    Keywords: 透名導電膜
    脫附
    氧化鋅
    Date: 2009-02-26
    Issue Date: 2009-08-15 19:29:05 (UTC+8)
    Abstract: 本研究法利用共濺鍍法在不同濺鍍功率條件下,製成透名導電膜氧化鋅掺雜氟化鎂做熱脫附圖譜分析。結果發現薄膜產生熱脫附的物種為:鋅、鎂、氧原子、氧分子、氟原子及氟分子。依據其熱脫附圖譜顯示,大部分薄膜物種於受熱一開始即具有對應較低脫附能的整體蒸發行為,而後至少尚有另一個對應較大脫附能的整體蒸發行為。從脫附物種數量相對比例結果顯示,氟分子的比例最高,氟原子次之。此高比例的氟脫附訊號與利用能量分散X光分析(EDS)量測得到之薄膜氟成分比例有極大的差異。此結果顯示氟在此薄膜中是很容易揮發的。依據理論上氟取代氧的導電機制與實驗結果,可推論此薄膜中,氟大部分並未取代氧,仍以氟化鎂型態存在。
    Relation: 真空科技,21卷第1,2期(2008) 22-27.
    Appears in Collections:[電機工程系所] 期刊論文

    Files in This Item:

    File Description SizeFormat
    張慎周-透明導電.pdf2838KbAdobe PDF69View/Open


    All items in KSUIR are protected by copyright, with all rights reserved.


    本網站之所有圖文內容授權為崑山科技大學圖書資訊館所有,請勿任意轉載或擷取使用。
    ©Kun Shan University Library and Information Center
    DSpace Software Copyright © 2002-2004  MIT &  Hewlett-Packard  /   Enhanced by   NTU Library IR team Copyright ©   - Feedback