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    Title: 直流濺鍍機檔板最佳化分析
    Authors: 陳文立
    周煥銘
    陳長仁
    鄭溪松
    Contributors: 崑山科技大學機械工程學系
    萬潤科技有限公司
    Keywords: 直流濺鍍機
    沉積速率
    最佳化
    Date: 2010-10-13
    Issue Date: 2013-07-08 12:03:43 (UTC+8)
    Publisher: 崑山科技大學
    Abstract: 在直流濺鍍機的濺鍍腔內放置擋板是達成較好的鍍膜均勻度的方法之一。傳統的擋板是直的平板,其效果不佳且會大幅降低鍍膜的沉積速率。本研究之目的在於發展一種數值分析方法以設計出最佳的擋板形狀。使用最佳化擋板將可在基板上形成極均勻的鍍膜,而鍍膜沉積速率比起沒有擋板的情形只有稍微第下降。此分析方法對設計新一代高性能濺鍍機有很大的幫助。
    Relation: 2010 海峽兩岸大學校長論壇暨科學技術研討會
    Appears in Collections:[機械工程系所] 2010 海峽兩岸大學校長論壇暨科學技術研討會

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