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    Title: 直流磁控濺鍍沉積氮化鋁鈦/氮化釩多層薄膜機械性質之研究
    Authors: 劉見成
    蔡明璟
    張瓊文
    Contributor: 崑山科技大學機械工程系(所)
    崑山科技大學綠色材料所
    Keywords: 氮化鋁鈦/氮化釩多層薄膜
    直流磁控濺鍍
    磨耗
    Date: 2010-10-13
    Issue Date: 2013-07-08 10:37:14 (UTC+8)
    Publisher: 崑山科技大學
    Abstract: 本研究是利用直流磁控濺鍍沉積氮化鋁鈦/氮化釩多層薄膜於模具鋼(SKD11),以改善模具鋼之抗磨耗性質。薄膜製備是利用鋁鈦、釩靶材和高純度氮氣,於真空度為5×10-6torr下反應沉積氮化鋁鈦/氮化釩薄膜。使用X光繞射分析薄膜的性質,使用奈米壓痕分析薄膜之硬度及楊氏係數,薄膜表面型態等特徵使用掃描式電子顯微鏡(SEM)及原子力顯微鏡(AFM)分析,薄膜厚度量測使用探針式表面輪廓儀器分析,薄膜之磨耗則是利用迴轉式銷對盤(pin-on-disk)進行磨耗分析試驗。結果顯示,在機械性質方面,硬度值、楊氏係數、摩擦係數隨著層數增加而有越好的趨勢,最高硬度值為64層其硬度值可達25.475GPa,而其薄膜表面之結構較為緻密,孔洞相對減少,表面呈圓粒狀組織。磨耗測試部分,則在64層時,有最低摩擦係數0.65。
    Relation: 2010 海峽兩岸大學校長論壇暨科學技術研討會
    Appears in Collections:[機械工程系所] 2010 海峽兩岸大學校長論壇暨科學技術研討會

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